Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный университет" (ГОУ ВПО "ВГУ") (RU)

Изобретение относится к плазменной технологии, а именно к способам получения ферромагнитных пленок из нанокластеров силицидов на поверхности кремниевой подложки методом локализованного газового разряда Ar и может быть использовано при получении базовых элементов спинтроники. Технический результат - увеличение скорости напыления, многофункциональность и экономичность способа. Способ включает плазм...