Общество с ограниченной ответственностью "Макси-М" (RU)
Общество с ограниченной ответственностью "Макси-М" (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ выращивания монокристалла кремния из расплава
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов для электронной техники, в частности кремния, методом Чохральского. Способ включает подачу рабочего газа в камеру с последующей эвакуацией сформированного газового потока с парогазовой смесью, образованной над расплавом, расположенным в тигле, при этом рабочий газ подают в камеру снизу под тигель, а парогазовую смесь эвакуи...
2472875