Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство обороны Российской Федерации (Минобороны России) (RU)
Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство обороны Российской Федерации (Минобороны России) (RU) является правообладателем следующих патентов:
![Способ получения локальных низкоомных областей силицида титана в интегральных схемах Способ получения локальных низкоомных областей силицида титана в интегральных схемах](https://img.patentdb.ru/i/200x200/90097e605f9c0c6bbfe5091d2621819e.jpg)
Способ получения локальных низкоомных областей силицида титана в интегральных схемах
Изобретение относится к технологии изготовления интегральных схем на основе комплементарных транзисторов со структурой металл - окисел - полупроводник (КМОП ИС). Изобретение обеспечивает сохранение электрофизических и конструктивных параметров активных и пассивных элементов в интегральных схемах на основе комплементарных транзисторов со структурой металл - окисел - полупроводник при формировании...
2474919