Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет) (СГКМИ (ГТУ) (RU)
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Северо-Кавказский горно-металлургический институт (государственный технологический университет) (СГКМИ (ГТУ) (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ сглаживания поверхности пленки алюминия на кремниевой подложке
Изобретение относится к сфере промышленного производства изделий электронной техники. Способ включает фотонный отжиг в течение 3-4 с. Затем осуществляют смачивание поверхности пленки в жидкофазной системе на основе олова. Техническим результатом изобретения является повышение качества поверхности пленки за счет ее сглаживания и снижения угла смачивания жидкофазными системами. 6 ил., 3 пр.
2477204