Учреждение Российской академии наук Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук (ИАПУ ДВО РАН) (RU)

Изобретение относится к способам формирования ультратонких пленок. Способ включает осаждение паров адсорбата на подложку в вакууме и наращивание пленки из монослоев. При этом осаждение паров адсорбата на подложку осуществляют при минимально возможной кинетической энергии их атомов, а также при тепловой мощности атомного пучка и температуре подложки, обеспечивающих отсутствие перемешивания атомов...

Изобретение относится к способам формирования ультратонких пленок. Способ включает осаждение паров адсорбата на подложку в вакууме и наращивание пленки из монослоев. При этом осаждение осуществляют при минимально возможной кинетической энергии атомов адсорбата, а также при тепловой мощности паров и температуре подложки, обеспечивающих отсутствие перемешивания атомов адсорбата с атомами подложки...

Изобретение относится к способам получения ультратонких пленок и может быть использовано для производства новых твердотельных приборов на основе пленочных наноматериалов и наноструктур на полупроводниковой или иной подложке. Способ включает осаждение паров адсорбата на подложку в вакууме и наращивания пленки из монослоев. Осаждение осуществляют при минимально возможной кинетической энергии атомо...