Путилин Виктор Михайлович (RU)

Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств и может быть использовано в качестве первичного преобразователя (сенсора) количества прошедшей по трубопроводу жидкости или газа в электрические сигналы расходомеров или счетчиков. Первичный преобразователь расхода текучих сред выполнен в виде кристалла кремния, который содержит кремниевую рамку-основание, диэлектриче...