PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Майоров Виталий Юрьевич (RU)

Майоров Виталий Юрьевич (RU) является правообладателем следующих патентов:

Способ изготовления датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы

Способ изготовления датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем с мостовой измерительной цепью, предназначенным для использования в системах управления, контроля и диагностики технически сложных объектов длительного функционирования. Техническим результатом изобретения является повышение временной стабильн...

2488082