Майоров Виталий Юрьевич (RU)
Майоров Виталий Юрьевич (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ изготовления датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем с мостовой измерительной цепью, предназначенным для использования в системах управления, контроля и диагностики технически сложных объектов длительного функционирования. Техническим результатом изобретения является повышение временной стабильн...
2488082