РОЛИТ, ИНК. (US)

Изобретение относится к способу и устройству, полезным при нанесении нанорисунка на подложки большой площади. Техника нанесения нанорисунка использует ближнеполевую фотолитографию, которая предусматривает подложку со слоем, чувствительным к излучению, вращаемую маску, имеющую нанорисунок на внешней поверхности, соприкосновение упомянутого нанорисунка с упомянутым слоем, чувствительным к излучени...

Изобретение относится к области литографии и касается способов изготовления снабженной нанорисунком цилиндрической фотомаски. Способ включает нанесение слоя эластомерного материала на прозрачный цилиндр с последующим формированием на эластомерном материале элементов рисунка размером от 1 нм до 100 мкм. Формирование элементов рисунка осуществляется перенесением элементов рисунка с предварительно...