Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) (RU)

Изобретение относится к изготовлению рентгеношаблонов, преимущественно для «мягкой» литографии. Сущность изобретения: в рентгеношаблоне, представляющем собой рентгенопоглощающую структуру, сформированную на полимерной пленке, закрепленной на опорном кольце, опорное кольцо выполнено из двух и более колец, образующих собой пяльца, в которых зафиксирована полимерная пленка, а рентгенопоглощающая ст...