ИАИ ИНДАСТРИАЛ СИСТЕМЗ Б.В. (NL)

Изобретение относится к способу и устройству для обработки подвижной подложки при помощи лазера для получения в результате обработки материала, отделенного от подложки. В ходе обработки подложки большее давление поддерживают с помощью насоса со стороны подложки, на которую излучается лазерный луч, чем с другой стороны подложки. В процессе обработки подложки по обеим сторонам зоны подложки, облуч...