ХЕМЛОК СЕМИКЭНДАКТОР КОРПОРЕЙШН (US)

Изобретение относится к способу крекинга высококипящих полимеров для увеличения выхода и минимизации отходов в процессе получения трихлорсилана. Предложен способ крекинга полихлорсилана и/или полихлорсилоксана, включающий стадии а) получения смеси, содержащей полихлорсилан и/или полихлорсилоксан; б) удаления твердых частиц из этой смеси с получением чистой смеси; и в) рециркуляции полученной чис...

Изобретение относится к способу получения кремния. В способе используют подачу травильного газа около стенок реактора с псевдоожиженным слоем. Травильный газ состоит по существу из тетрахлорсилана. В этот процесс может быть интегрирован реактор Сименса таким образом, что отходящие из него газы используют в качестве исходного газа и/или травильного газа, которые подают в реактор с псевдоожиженным...