PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" (ОАО "НИЦПВ") (RU)

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" (ОАО "НИЦПВ") (RU) является правообладателем следующих патентов:

Тестовый объект для калибровки просвечивающих электронных микроскопов

Тестовый объект для калибровки просвечивающих электронных микроскопов

Изобретение относится к области калибровки просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ) при измерениях в нано- и субнанометровом диапазонах. Тестовый объект выполнен в виде держателя образцов с несколькими местами крепления исследуемых объектов, в одном из которых расположена эталонная структура, выполненная в виде тонкого поперечного среза кремниевой структуры с периодической рельефной поверхно...

2503080