Подвигалкин Виталий Яковлевич (RU)

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в производстве электровакуумных СВЧ-микроблоков с вакуумными интегральными схемами (ИС) и другими схемами. Технический результат - возможность миниатюризации полной системы логических элементов с уменьшением потерь электромагнитной энергии, распространение интегральности по третьей координате, послойно располагая активные топо...