Учреждение Российской академии наук "Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН)" (RU)

Изобретение относится к области обработки сигналов в сканирующих устройствах, в частности оно касается способов обработки сигналов в сканирующем электронном микроскопе (СЭМ) и ему подобных устройствах с целью определения параметров пучка и коррекции этих параметров. Техническим результатом является уменьшение времени, необходимого для выполнения вспомогательных процедур установки заданных параме...