ВОЛТЕЙКС, ЭлЭлСи (US)

Изобретение относится к способу очистки германа, содержащего фосфин, для получения очищенного германового продукта. Способ включает: предоставление газообразного германа, содержащего фосфин; сушку молекулярного сита; кондиционирование высушенного молекулярного сита пропусканием потока газообразного германа сквозь молекулярное сито до насыщения молекулярного сита германом; пропускание газообразно...