Тимаков Сергей Владимирович (RU)
Тимаков Сергей Владимирович (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ изготовления тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы датчика механических величин
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в технологии изготовления малогабаритных тонкопленочных датчиков механических величин, работоспособных в широком диапазоне температур. Изобретение позволяет расширить температурный диапазон работы датчика на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы, повысить воспроизводимость таких параметров тензорезис...
2544864