Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (АО "НИИМЭ") (RU)
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (АО "НИИМЭ") (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ изготовления многоуровневой медной металлизации с ультранизким значением диэлектрической постоянной внутриуровневой изоляции
Изобретение относится к технологии изготовления многоуровневой металлизации сверхбольших интегральных микросхем (СБИС). Способ изготовления медной многоуровневой металлизации СБИС многократным повторением процессов изготовления типовых структур, состоящих из медных горизонтальных и вертикальных проводников и окружающих их диэлектрических слоев с низким значением эффективной диэлектрической пост...
2548523