Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт высокомолекурных соединений Российской академии наук (RU)

Изобретение относится к термостойкому фоторезисту, содержащему реакционный раствор поли(о-гидроксиамида) - продукта поликонденсации дихлорида изофталевой кислоты и 3,3'-дигидрокси-4,4'-диаминодифенилметана или смеси 3,3'-дигидрокси-4,4'-диаминодифенилметана и бис -(3-аминопропил)диметил-силоксана, взятых в соотношении от 9:1 до 1:9 мол. %, β,β-бис-нафтохинондиазидо - (1,2)-5-сульфоэфир -(4-гидро...