PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ) (RU)

Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ) (RU) является правообладателем следующих патентов:

Способ изготовления датчика давления повышенной стабильности на основе нано- и микроэлектромеханической системы

Способ изготовления датчика давления повышенной стабильности на основе нано- и микроэлектромеханической системы

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью, предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования. Техническим результатом изобретения является повышение временной и температурной ст...

2572527