Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ) (RU)
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пензенский государственный университет" (ПГУ) (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ изготовления датчика давления повышенной стабильности на основе нано- и микроэлектромеханической системы
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью, предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования. Техническим результатом изобретения является повышение временной и температурной ст...
2572527