Общество с ограниченной ответственностью "Планар-МИФИ" (RU)
Общество с ограниченной ответственностью "Планар-МИФИ" (RU) является правообладателем следующих патентов:
![Способ изготовления чувствительных элементов датчиков концентрации газа Способ изготовления чувствительных элементов датчиков концентрации газа](/img/empty.gif)
Способ изготовления чувствительных элементов датчиков концентрации газа
Изобретение относится к изготовлению средств выявления примесей газов и определения концентрации газов в воздушной среде. Способ изготовления чувствительных элементов датчиков концентрации газа согласно изобретению включает нанесение диэлектрической пленки на лицевую сторону кремниевой подложки, формирование на пленке структуры чувствительных элементов и создание тонких диэлектрических мембран...
2597657