Общество с ограниченной ответственностью специальное конструкторско-технологическое бюро "Инверсия" (RU)
Общество с ограниченной ответственностью специальное конструкторско-технологическое бюро "Инверсия" (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ получения фотоактивной многослойной гетероструктуры на основе микрокристаллического кремния
Изобретение относится к технологии устройств нано- и микроэлектроники, нанофотоники. Сущность изобретения заключается в получении многослойной фотоактивной гетероструктуры на основе монолитно-стыкованных последовательно осажденных гидрогенизированных слоев микрокристаллического кремния µc-Si:H(i) и двуокиси кремния µc-SiO2(n), µc-SiO2(p) плазмохимическим осаждением с горячей нитью при температур...
2599769