Обухов Владимир Алексеевич (RU)
Обухов Владимир Алексеевич (RU) является правообладателем следующих патентов:
![Способ интегральной диагностики вч индукционного газоразрядного устройства Способ интегральной диагностики вч индукционного газоразрядного устройства](https://img.patentdb.ru/i/200x200/cd9902fa2006b3381ff665bab11e69d1.jpg)
Способ интегральной диагностики вч индукционного газоразрядного устройства
Изобретение относится к газоразрядным источникам плазмы, в частности к ВЧ индукционным (ВЧИ) устройствам, применяемым в составе технологических источников плазмы или ионов, а также в составе ионных двигателей или недвигательных ионных систем типа ионных «пушек» для удаления космического мусора с рабочих орбит. Технический результат- детализация баланса ВЧ мощности ВЧИ устройства через опреде...
2601947