ООО "АЛЬБАТЭК" (RU)

Изобретение относится к вакуумной и твердотельной электронике. Технический результат – создание способа изготовления вакуумной интегральной микросхемы, позволяющего упростить технологию изготовления путем исключения операций травления и фотолитографии, повышение качества изготовляемой продукции. Достигается тем, что используют подложку из полупроводникового материала с множеством микроострий, расп...

Изобретения относятся к вакуумной технологии нанесения покрытий однослойных однокомпонентных, однослойных многокомпонентных и многослойных многокомпонентных и устройству для ее реализации и могут найти применение при изготовлении тонких и сверхтонких пленок из металлов, полуметаллов, сплавов, диэлектриков, полупроводников и сверхпроводников в микроэлектронике. Для нанесения покрытий использую...