Пензенский технологический институт (завод-втуз) филиал Пензенского государственного университета (RU)

Устройство относится к электронной технике, в частности к тонкопленочной микроэлектронике. В способе изготовления термокомпенсированного тензорезистора, включающем напыление на гибкую диэлектрическую подложку резистивных слоев, формирование методом фотолитографии чувствительных элементов тензорезистора, измерение сопротивлений которых в процессе подгонки ТКС тензорезистора осуществляют омметром, п...