Бычков Валерий Владимирович (RU)

Использование: изобретение относится к измерительной технике, в частности, к технике измерения неэлектрических величин, а именно, к полупроводниковым датчикам давления. Сущность: мультипликативный микроэлектронный датчик давления содержит полупроводниковый кристалл с упругим элементом в виде выступа на его поверхности, по меньшей мере один чувствительный элемент, сформированный в выступе, концентр...