Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ("ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" (СПбГЭТУ) (RU), 197376, Санкт-Петербург, ул. Попова 5
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет ("ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" (СПбГЭТУ) (RU), 197376, Санкт-Петербург, ул. Попова 5 является правообладателем следующих патентов:
Чувствительный элемент мембранного типа
Изобретение относится к микроэлектронному приборостроению и может быть использовано в конструкции широкого класса микроэлектронных приборов, оснащенных чувствительным элементом мембранного типа, - датчиков давления и температуры, акселерометров микрореле и т.д. Сущность: чувствительный элемент содержит подложку из монокристаллического кремния с базовой ориентацией (100), мембрану, включающую слой...
2247443