Парфененок Михаил Антонович (RU)

Изобретение относится к ионно-плазменной технике, в частности к источникам ионов с замкнутым дрейфом электронов, которые могут быть использованы при конструировании источников, формирующих ленточные пучки ионов инертных и химически активных газов. Сущность изобретения: в ионном источнике с замкнутым дрейфом электронов, содержащем полый корпус, служащий катодом, в торцевых стенках которого выполнен...

Изобретение относится к узлу катода магнетронного распылителя и может быть использовано в машиностроении при изготовлении деталей с покрытием. Мишень имеет наружную сторону и внутреннюю сторону и выполнена, по меньшей мере, частично, из распыляемого материала. С внутренней стороны от мишени расположены теплоизолированные от нее магниты и, по меньшей мере, один, трубопровод для охлаждающей среды, и...