Физико-технологический институт РАН (RU)
Физико-технологический институт РАН (RU) является правообладателем следующих патентов:
Способ контроля момента окончания травления в плазме вч- и свч-разряда в технологии изготовления полупроводниковых приборов и устройство для его осуществления
Использование: для контроля момента окончания травления в плазме ВЧ- и СВЧ-разряда в технологии изготовления полупроводниковых приборов в микроэлектронике и наноэлектронике. Сущность изобретения: для контроля в реальном времени момента окончания плазмохимического травления слоев микро- и наноэлектронных структур выполняется измерение и обработка модулированного сигнала оптической эмиссии плазмы на...
2248645Способ контроля плазмохимических процессов травления дифференциальной оптической актинометрией и устройство для его осуществления
Использование: при контроле плазмохимических процессов травления в технологии изготовления полупроводниковых приборов в микро- и наноэлектронике. Сущность изобретения: для контроля в реальном времени процессов плазмохимического травления дифференциальной оптической актинометрией выполняется смешение газа - источника химически активных частиц и инертного газа-актинометра, удовлетворяющего условиям...
2248646Резонансный полупроводниковый прибор на основе квантовых биений
Использование: Изобретение относится к полупроводниковым приборам и приборам электронной техники с квантовыми потенциальными ямами и может быть использовано в микроэлектронике, нанотехнологии и оптоэлектронике. Техническим результатом изобретения является увеличение быстродействия и снижение трудоемкости изготовления. Сущность изобретения: тонкопленочный оксидированный нанокристаллический кремний,...
2269182