ФГУП Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина (RU)

Использование: области микро- и наноэлектроники, а более конкретно при конструировании эмиттера, в том числе эмиссионного, у активных элементов микро- и наноэлектроники: диодов и транзисторов. Сущность изобретения: в эмиттере для интегральных приборов, содержащем основание эмиттера, расположенное на подложке и выполненное из слоя каталитического материала, на поверхности которого сформированы угле...