Государственный НИИ Физических проблем им. Ф.В. Лукина (RU)

Изобретение относится к нанотехнологии, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим перемещения объекта по трем координатам (X, Y, Z) и точную повторяемость положений объекта при его переустановке, например для перемещения образцов, держателей образцов, зондов и других элементов в сканирующей зондовой микроскопии. Изобретение направлено на обеспечение широкого диапазона перемещения по всем тре...