Федеральное Государственное Унитарное предприятие научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е.Седакова (RU)

Использование: изобретение относится к неразрушающим способам диагностики структурного совершенства эпитаксиальных слоев кремния, выращенных на диэлектрических подложках, и может использоваться в технологии микроэлектроники для контроля качества приборных слоев в композиции типа “кремний на сапфире”. Технический результат: повышение чувствительности эллипсометрического контроля дефектности пленок...