Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "МИКРОН" (ОАО "НИИМЭ и завод "МИКРОН") (RU)

Использование: в интегральной микроэлектронике при изготовлении полупроводниковых интегральных схем типа программируемых логических матриц, электрически программируемых постоянных запоминающих устройств. Сущность изобретения: способ изготовления программируемых элементов в составе ИС включает формирование на полупроводниковой подложке с элементами ИС первого слоя из материала на основе алюминия, п...

Изобретение относится к оптической контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения высоты ступенек, полученных любым способом в однородном материале или в произвольной многослойной структуре. Сущность изобретения заключается в измерении эллипсометрических параметров отдельно для пучков света, отраженных от областей по обе стороны от ступеньки (с использованием для ступенек...