Корпорация Самсунг Электроникс, ЛТД (KR)

Изобретение относится к способу получения пористой пленки из поли(α, α, α', α'-тетрафторпараксилилена). Способ осуществляют путем последовательного осуществления в трехзонном реакторе, состоящем из зон сублимации, пиролиза и конденсации, при остаточном давлении 0,001-0,1 мм рт.ст. сублимации и пиролиза циклического димера - 1,1,2,2,9,9,10,10-октафтор[2.2]парациклофа...