Федеральное государственное унитарное предприятие Научно-исследовательский институт "ВОЛГА" (RU)

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в производстве устройств отображения визуальной информации на основе низковольтной катодолюминесценции. Предложен способ крепления кремниевой пластины к стеклянной подложке. Проводят механическую обработку и химическую очистку поверхностей кремниевой пластины и стеклянной подложки, покрывают поверхности кремниевой пластины и стекля...