Соотс Регина Альфредовна (RU)

Использование: в технологии изготовления приборов микро-, наноэлектроники и наноэлектромеханики. Сущность изобретения: селективный травитель слоев AlAs, AlGaAs относительно GaAs содержит иод (I2), органический растворитель, в котором растворен иод (I2), причем указанные компоненты взяты в следующем соотношении, мас.%: иод - 0,1÷4, органический растворитель - 96÷99,9. При этом в кач...