Иванов Александр Сергеевич (RU)

Использование: для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения из газоразрядной плазмы. Сущность: заключается в том, что в качестве электродов использованы два дискообразных элемента, центральные оси симметрии которых совмещены с осью вала, периферийная часть поверхности, по крайней мере, одного из электродов покрыта слоем легкоплавкого металла, и введена система подачи легкоплавког...

Изобретение относится к способу эффективного получения коротковолнового, в частности, экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения из плазмы импульсных вакуумных разрядов преимущественно с вращающимися электродами. Изобретение может быть использовано для ЭУФ литографии, в частности, на длине волны λ=13,5 нм, соответствующей эффективному отражению зеркальной Mo/Si оптики. Способ получения кор...

Изобретение относится к устройству для получения мощного коротковолнового, в частности, экстремального ультрафиолетового излучения преимущественно из плазмы импульсного вакуумного разряда, инициируемого лазером между вращающимися электродами. Устройство для получения мощного коротковолнового излучения из разрядной плазмы содержит соединенные с приводами вращения электроды, каждый из которых част...

Изобретение относится к машиностроению, а более конкретно к приводам машин, имеющих следящие системы, в частности станки с ЧПУ, промышленные роботы и т.д. Планетарный редуктор с беззазорным зацеплением содержит два центральных колеса (1, 3) и находящиеся с ними в зацеплении сателлиты, каждый из которых образует блок из двух зубчатых колес (2). Зубчатые колеса (2) установлены на общей оси (5) пос...

Изобретение относится к устройству для резки вращающимся дисковым ножом с использованием энергии ультразвуковых колебаний и предназначено для резки тонкостенных бумажных труб, например бумажных оболочек сигарет. Устройство содержит вращающийся узел, соединенный с электродвигателем посредством клиноременной передачи и с высокочастотным электрическим генератором. Вращающийся узел содержит внешнюю об...