Открытое акционерное общество "Полема" (RU)

Способ предназначен для изготовления керамики, используемой в качестве мишеней при магнетронном, электронно-лучевом и иных методах распыления в микро-, опто- и наноэлектронике. Способ синтеза керамики включает в себя нанесение на поверхность порошка основного компонента слоя легирующего металла путем перетирания смеси компонентов при температуре плавления легирующего металла, прессование и спекани...

Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначен для магнетронного, электронно-лучевого и других методов нанесения пленок в микро-, опто-, наноэлектронике. Способ нанесения оксидных пленок заключается в том, что материалы доставляются к поверхности роста в дозированном количестве. На поверхность роста подают поток металла, а нанесение производят магнетронным методом одновре...