Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный институт электронной техники (технический университет)" (RU)

Изобретение относится к кремниевым резонаторам. Техническим результатом изобретения является повышение КПД, расширение диапазона частот и амплитуды колебаний а также повышение чувствительности и точности микрорезонатора. Микрорезонатор с термическим возбуждением содержит опорную рамку и колебательное тело в виде кремниевой балки с резистивным нагревателем. Кремниевая балка выполнена длиной 5-10 мм...

Изобретение относится к области измерительной техники. Конденсационный гигрометр содержит слой окисленного пористого кремния на монокристаллической подложке, систему встречно-штыревых электродов и металлических контактов к ней. Поры в окисленном пористом кремнии имеют коническую, расширяющуюся к поверхности форму, а электроды, изолированные окислом, выполнены из поликремния и заглублены в тело мон...

Изобретение относится к области сенсорных элементов, а точнее к датчикам газового состава атмосферы. Сущность изобретения: в сенсорной структуре на основе квазиодномерных проводников, включающей основание, расположенные на нем наноструктуры, обладающие баллистической проводимостью, и электроды к ним, наноструктуры выполнены в виде нанотрубок или графенов или металлических или молекулярных провод...

Использование: в производстве наноэлектронных и наномеханических приборов методом адсорбции-десорбции отдельных атомов на поверхности подложки. Сущность изобретения: в способе производства наноэлектронных и наномеханических приборов путем адсорбции отдельных атомов на поверхность подложки и путем десорбции отдельных атомов с поверхности подложки формирование прибора осуществляют зондом, размещаем...