Институт химии и химической технологии Сибирского отделения Российской академии наук (RU)

Изобретение относится к области измерения диэлектрических параметров тонких пленок сложных оксидов, используемых в производстве литий-ионных аккумуляторов. Технический результат изобретения: повышение точности измерения, возможность многократного использования ячеек. Сущность: на подложку из ситала или поликора через фотошаблон способом вакуумного напыления наносят пленочный рисунок электродов из...