АПЛАЙД ФИЛМС ГМБХ УНД КО. КГ (DE)

Изобретение относится к области металлургии, в частности к распылительному катоду для процессов нанесения покрытий в вакуумной камере, и может найти применение в машиностроении при изготовлении изделий с нанесенным покрытием. Катод содержит, по меньшей мере, одну цельную мишень (2), смонтированную на металлической мембране (3). На обращенной от мишени (2) стороне мембраны (3) находятся охлаждающий...

Изобретение относится к установке для нанесения покрытий на ленты и может найти применение в различных отраслях приборостроения и машиностроения при изготовлении печатных схем на пленках, антибликовых слоев для дисплеев и других изделий. Установка содержит вакуумную камеру (1) и обечайку (20) с плоским потолком (10), расположенную между задней стенкой (18) и, по меньшей мере, одной съемной запорно...