Институт физики микроструктур РАН (RU)

Изобретение относится к микроструктурным устройствам, содержащим гибкие элементы, в частности подвижные относительно друг друга электроды, что позволяет использовать их как датчики механических и термодинамических величин, таких как ускорение, температура и давление. Эмиссионный датчик содержит два электрода, расположенных в вакууме напротив друг друга на расстоянии d, по крайней мере один из кото...