Устройство для обработки пластин

Устройство для обработки пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт, свид-ву (22) Заявлено 07 ° 04 ° 80 (21) 2908275/25-08 ($) ) М. Кд 3 с присоединением заявки Мо (23) Приоритет

В 24 В 37/04

//В 24 В 7/04

Государственный комитет

СССР по делам изобретений, н открытий (331УДК 6 21. 923. . 74 (088. 8) Опубликовано 070383, Бюллетень йо9

Дата опубликования описамия07.03.83 (72) Авторы изобретения

М r Ураевский, В.Н.ущербов и И.Н«Евдокимо

«»»» (71) Заявитель ргизский горно-металлургичес ий (54) УСТРОЙСТВО ДЛЧ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН

Изобретение относится к области абразивной обработки и может быть использовано для шлифования пластин из полупроводниковых материалов, на— пример, монокристаллического крепления.

Известно устройство для обработки пластин, содержащее основание и расположенный на нем столик, в котором выполнены посадочные места для размещения деталей, имеющие внешние канавки, соединенные с системой энергоносителя под давлением, и внутренние канавки, соединенные с вакуумной системой (.1 g.

Недостатком устройства является невозможность автоматизации процесса.

Цель изобретения — повышение производительности обработки за счет обеспечения автоматизации процесса.

Поставленная цель достигается тем, что стол расположен на введенной в устройство и установленной на основании с возможностью вращения карусели, а устройство снабжено распределительной муфтой, состоящей из соосно установленных подвижной и неподвижной полумуфт, закрепленных соответственно на карусели и основании, при этом в обеих полумуфтах выполнен центральный канал, соединяющий систему энергоносителя. через полость, образованную каруселью и столом, с внешними канавками посадочных мест, а в подвижной олумуфте выполнены расположенные по окружности каналы, каждый из которых соединен одним концом по крайней мере с одной внутренней канавкой посадочного места пластины, а другим — с выполненным на торце неподвижной полумуфты дуговым пазом, связанным с вакуумной системой.

Кроме того, на торце неподвижной полумуфты выполнен дополнительный дуговой паэ, связанный с системой энергоносителя под давлением.

На фиг. 1 изображено устройство, разрез, на фиг. 2 — то же, вид в плане ;на фиг. 3 — разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 4 и 5 — варианты выполнения неподвижной полумуфты.

Устройство для шлифования пластин полупроводникового материала состоит из станины 1, на которой установлена карусель 2 с механизмом вращения 3, червяком 4, червячной шестерней 5 и шлифовальным столом

6, на котором расположены посадочные места пластин 7, выполненные в

1002139 виде внешней 8 и внутренней 9 концентрических канавок. Между шлифовальным столом 6 и каруселью 2 установлено плоское кольцо 10, снабженное каналами 11, штуцерами

12 и гибкими трубками 13, которые соединены со штуцерами 14 каналов

15, расположенных по окружности под.вижной полумуфты 16, жестко соединенной с каруселью 2, при этом центры каналов расположены от оси полумуфты на расстоянии среднего радиуса концентрических пазов 17 и

18, незамкнутых между собой и выполненных на торцовой поверхности неподвижной полумуфты 19. Один из 15 концентрических пазов 17 каналов

20 соединен с вакуумной системой (на фиг. не показано ), а другой паз

18 каналом 21 соединен с энергоносителем под давлением, например, мою- щ щей жидкостью. Внутренние канавки

9 посадочных мест пластин отверстиями 22 в столе б соединены с каналом 11 плоского кольца 10, а внешние канавки 8 отверстиями 23 соединены с полостью 24 между столом и каруселью, которая центральным каналом 25 подвижной полумуфты 16 и центральным каналом 26 неподвижной полумуфты 19 соединена с системой энергоносителя под давлением, например, сжатым воздухом. При этом концентрические незамкнутые пазы 17 и 18 неподвижной полумуфты расположены таким образом, что с вакуумной системой соединены внутренние канавки

9 тех посадочных мест пластин, которые находятся вблизи или в зоне обработки, а внутренние .канавки посадочных мест, находящихся вне эоны обработки, например в зоне укладки, съема пластин и отмывки посадочных мест, соединены с энергоносителем под давлением. На станине также установлен шпиндель 27 с обрабатывающим инструментом 28, механизмом его враще- 45 ния 29 и механизмом 30 продольного перемещения и фиксации шпинделя 27.

Устройство работает следующим образом.

Схемой управления (на фигурах не показано) канал 20 неподвижной полумуфты 19 соединяют с вакуумной системой и вакуум через концентрический незамкнутый паз 17 и каналы 15, находящиеся над пазом 17,.через гибкие 55 трубки 13, каналы 11 и отверстия 23 ,возникает на внутренних канавках 9 посадочных мест, находящихся вблизи или в зоне обработки. Канал 21 неподвижной полумуфты 19 соединяют с 60 системой энергоносителя под давлением например, с моющей жидкостью, которая через,паз 18 неподвижной полумуфты, каналы 15, гибкие трубки 13, каналы 11 и отверстия 22 поступает 65 к внутренним канавкам 9 посадочных мест, находящихся вне зоны обработки, Центральный канал 26 соединяют с системой энергоносителя, например

/ со сжатым воздухом, который через канал 25, полость 24 и отверстия 23 поступает на внешние канавки всех посадочных мест. Механизмом перемещения 30 шпинделя 27 обрабатывающую поверхность инструмента 28 устанавливают на заданную величину.

Механизмом 29 придают вращение инструменту 28, а механизмом 3 придают вращение карусели б и по мере приближения к зоне обработки на посадочные места укладывают пластины

7, которые прочно закрепляются вакуумом, поступающим во внутренние канавки 9, а поступление сжатого воздуха с малым давлением на внешние канавки 8 исключает подсос под пластину и обеспечивает чистоту необрабатываемой поверхности, после выхода посадочных мест из зоны обработки с внутренних каналов 9 снимается вакуум и поступает давление энергоносителя, например, моющей жид костью и пластина 7 освобождается и снимается,, посадочное место отмы- вается и цикл повторяется .

Предложенное устройство может работать и с одним пазом на неподвижной полумуфте, так как при отсоединении внутренней канавки посадочного места пластин от вакуумной системы на внешнюю канавку продолжает поступать энергоноситель под давлением сжатый воздух), который через микронеровности поверхностей пластины и шлифовального стола поступает во внутренние канавки посадочного места, что приводит к снижению вакуума, а следовательно, к освобождению пластины . Однако, этот процесс снижения вакуума относительно продолжительный во времени, так как давление воздуха .значительно меньше давления вакуума.

Снабжение неподвижной полумуфты вторым пазом для подачи во внутренние канавки посадочных мест сжатого воздуха преследует ту же цель — снижение вакуума и освобождение пластины, но при этом освобождение деталей происходит четко и мгновенно.

Обработка пластин с помощью предложенного изобретения повысит производительность и обеспечит воэможность автоматизации за счет наличия эоны, в которой с внутренних канавок посадочных мест пластин сни— мается вакуум. Это позволит производить .укладку, съем пластин и отмывку посадочных мест без остановки шлифовального стола.

100 21З9

Формула изобретения

Устройство для обработки пластин, содержащее основание и расположенный на нем стол, в котором выполнены посадочные места для размещения деталей, имеющие внешние канавки, соеди. ненные с системой энергоносителя под давлением, и внутренние канавки, соединенные с вакуумной системой, о т .л и ч а ю щ е е с я тем, что, с 10 целью повышения производительности обработки за счет обеспечения возможности автоматизации процесса, стол расположен на введенной в устройство и установленной на основании с воз- 15 можностью вращения карусели, а уст.ройство снабжено распределительной муфтой, состоящей иэ соосно установленных подвижной и неподвижной полумуфт, закрепленных соответственно 2д» на карусели и основании, при этом. в обеих полумуфтах выполнен центральt ный канал, соединяющий систему энергоносителя через полость, образованную каруселью и столом, с внешними канавками посадочных мест, а и подвижной полумуфте выполнены расположенные по окружности каналы, каждый иэ которых соединен одним концом па крайней мере с одной внутренней канавкой посадочного места пластины, а другим с выполненным на торце неподвижной полумуфты дуговым пазом, связанным с вакуумной системой.

2. Устройство по и. 1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что на торце неподвижной полумуфты выполнен дополнительный дуговой паэ, связанный с системой энергоносителя под давлением.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство:СССр, по заявке. Р 2449155/18-21, кл. B 24 В 5/00, 1977.

10021 39

1007139 оюза

BHHHOH Заказ 1695/б Тираж 793 Подписное

Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðîä, ул.Проектная,4