Абразивный круг для разделения полупроводниковых пластин

Абразивный круг для разделения полупроводниковых пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

АБРАЗИВНЫЙ КРУГ ДЛЯ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, выполненный в, виде диска с жестко соединенными с ним упрочняющими элементами с наружным диаметром, меньшим чем диаметр диска, о т л и ч а гоод и и с я тем, что, с целью повышения производительности и качества обработки путем повышения скорости резания, свойства материала .определены неравенством

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

ИЦ ПМ

РЕСПУБЛИК .

3GD В. 24 D 5 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСХЦАРСТВЕККЫЙ HOIANTET CCCP

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3353784/25-08 (22) 11. 81 (46) 23.04. 83. Бюл. II 15 (72) В. В.- Ефимов, Г. В. Шуваев и Ю. Н. Зимицкий (53) 621. 922. 079 (088. 8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

9 403546, кл. В 24 D 5/06, 1974. (54) (57) АБРАЗИВНЫЙ КРУГ ДЛЯ РАЗДЕЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, выполненный в, виде диска с жестко соединенными с ним упрочняющими элементами с наружным диаметром, меньшим

„„SUÄÄ 1013247 чем диаметр -диска, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения производительности и качества обработки путем повышения скорости резания, свойства материала определены неравенством э Рк, )1, Е р где и Š— модуль Юнга соответстэ к венно упрочняющих элементов и диска! у и рк — соответственно их массовая плотность.

1013247

Составитель В. Бобрин

Редактор Н. Пушненкова Техред О.Неце Корректор Ю. Макарейко

Заказ 2899/22 Тираж 793 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР но делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к области обработки неметаллических материалов, а именно к инструментам для раз. деления полупрОводниковых пластин.

Известен отрезной алмазный круг в виде диска, соединенного с торцев с элементами, массовая плотность, которым больше плотности диска 1 ).

Недостатком этих кругов является невозможность работы на скоростях более 150-175 м/с, что обусловлено 30 недостаточней прочностью конструкции круга.

Целью изобретения является повышение прочности и продольной устойчивости круга для создания возмож" ности повышения скорости резания и, как следствие, повышение производительности и качества обработки, Поставленная цель достигается тем, что на алмазный диск с обеих сторон крепятся известным способом (напайкой, склеиванием и др. ) одинаковые по толщине упрочняющие элементы толщиной от 5 до 10 толщин полотна алмазного круга из материала,со свойствами, определяемыми неравенством

Е р э к к9 где Е" „и Е„ — модуль Юнга соответст-30 венно.материалов упроч няющего элемента и алмазного круга; у и у„ - массовая плотность соответственно материа 5 лов упрочняющего элемента и алмазного круга.

Допустимый предел прочности материала упрочняющих элементов должен 40 обеспечить их прочность йа скоростях олее 175 м/с.

Так как величина деформации вращающегося диска прямо пропорциональна его массовой плотности и обратно пропорциональна модулю Юнга, то в

;писке алмазного круга вследствие

его жесткой связи с упрочняющими элементами с укаэанным неравенством свойствами при вращении будут возникать напряжения, обратные по знаку напряжениям от центробежных сил, что и приводит к увеличению его прочности.

При этом создается возможность повышения скорости резания до 1,52 раз.

Симметричность конструкции относительно плоскости вращения, проходящей через середину алмазного круга, исключает появление деформаций изгиба, что повышает устойчивость его режущей кромки.

Выполнение упрочняющих элементов толщиной не менее 5 толщин диска гарантирует дастаточный по величине . упрочняющий эффект, а выполнение их толщиной более 10 толщин диска нецелесообразно, так как не приводит к дальнейшему существенному росТу упрочняющего эффекта.

На чертеже показан предложенный абразивный круг.

К торцам алмазного диска 1 прикреплены упрочняющие элементы 2, имеющие внутрейнее отверстие такое, же, как и у алмазного диска, а наружную поверхность меньшего радиуса на .величину выступающей режущей части 3 алмазного диска.

Абразивный круг устанавливается на станке во фланцах и работает аналогично известным разрезным кругам, но при этом скорость резания может быть. значительно повышена, что позволяет повысить производительность разрезания пластин и улучшить качество образующейся при резе поверхности.

Предложенный абразивный круг рекомендован к внедрению в радиоэлектронной, радиотехнической и др. отраслях промышленности.