Материал для низкоомных тонкопленочных резисторов

Материал для низкоомных тонкопленочных резисторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

МАТЕРИАЛ ДЛЯ НИЗКООМВЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ, содержавдий ниобий и легируюссие добавки, о тг л и ч a ю щи и с я тем, что, с целью улучшения воспроиэвохопчости номиналов резисторов в процессе их изготовления и повышения их жаростойкости , в качестве легаруюитх добавок он содержит ванадий, молибден, хром и углерод при следующем количественном соотношении компонентов, вес.%: 0,5-11 Ванадий 5-15 Молибден 0,01-0,2Углерод 0,3-13 Хром Остальное Ниобий (О

СОЮЗ ИМЗЕТСНИХ

ЯЗ ВВП °

РЕСПУБЛИК.(Ю (И) ЗСВН 0 0

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbfAO

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

М ВТОРСНОМУ СВИДВТВЪСТВ 1

О, 01-0,2- .

-0,3-13

Остальное

Углерод

Хром

Ниобий (21) 3263664/18-21 (22) 24.03.81 (46) 23.04.83. Бюл. В 15 (72) H.,Ю. Юсипов и К.- A. Кузнецов

:(53) 621.316.8(088.8) (56)" 1. Самсонов Г. В., Дворина Л. A.

Рудь Б. М. Силициды. М., "Металлурrèÿ", 1979, с. 272, 2. ГорбаЧева Т. К., Мазо A. A., Юсипов Н. Ю., Кондратов Н. М. Срав:.нительные электрические характерис= тики резистивного сплава PC-4400 и

:. пленок на его основе. Сб. "Электрон-ная техника". сер. "Иатериаль", вып.

1 1978, с. 23-27 (прототип). (54) (57) МАТЕРИАЛ ДЛЯ НИЗКООМНЫХ:

ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ, содержаций ниобий и легирующие добавки, о т-. л и ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения воспроизводимости . номиналов резисторов в процессе их. изготовления и повышения их жаростойкости, в качестве легирующих добавок он содерхит ванадий., молибден, хром, и углерод нрн следунхцем кодичественном соотношении компонентов, вес.%г

Ванадий 0,5-11 . Молибден 5-15

1014045

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении низкоомных тонкопленочных резисторов в интегральных тонкопг еночных микросхемах.

Известен резистивный материал на основе ниобия (1 .

Недостатком этого материала является низкая термостабильность, жаростойкость и невоспроизводимость параметрон резисторов н процессе их ггпу изготовления, что обусловлено хемосорбцией резистивным материалом активных газов (кислород, азот и др.)..

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является ре- )5 эистинный материал, который содержит ниобий и кремний 121.

Недостатком изнестного материала янляются плохая воспроизнодимость параметрон тонкопленочных резисторов 20 в процессе их изготовления и низкая жаростойкость, которые обусловлены многофаэностью системы ниобий-кремний,. каждая фаза которой имеет разную величину удельного электрическо- 25 го сопротивления.

Целью изобретения является повышение термостабильности и жаростойкости резистивных пленок.

Поставленная цель достигается тем, что материал для низкоомных тонкопле-ночных резисторов, содержащий ниобий и легирующие добавки, в качестве легирующих добавок содержит ванадий, молибден, хром и углерод при следующем количественном соотношении ком- 35 понентов, вес.Ъг

0,5

5,0

0,01

0,3

Молибден

Углерод

Хром

Ниобий Остальное. 5,?5

10,0

0,1 б,б

2. Ванадий

Молибден

Углерод

Хром

Ниобий Остальное

3. Ван адий 11, 0

Молибден 15 0 Углерод 0,2

Хром 13,0

0,5-11,0

Ванадий

Молибден

Углерод

Хром

Ниобий

5> 0-15 0

0,01-0,2.

О, 3-13,0

Остальное

Приведены конкре ные примеры 45 приготовления реэистинного материала предложенного сплава с различным содержанием исходных компонентов и их характеристики.

Методом вакуумной дуговой плавки получали мишени из предложенного

Численные значения параметров материала

Рабочий параметр

Известного Предложенного (-60)-(+155) (-60)-(+300) 8,2<10

2,3 10

5,7 ° 10 для минимального максимального

5-50

50-250

Диапазон рабочих температур,"С

Величина ТКС в диапазоне рабочих температур, градг

:Удельное поверхностное сопротивление резистивных пленок, Ом/0 материала трех составов при следующем количественном соотношении ком- понентов, мас.%s

1. Ванадий

Ниобий Остальное

Мишени получались дроблением исходного сплава в порошок с гранулометрическим составом 45-100 мкм и горячим прессованием при давлении

5 т/см

Из получейных мишеней методом ионно-плазменного распыления и атмосфере аргона при давлении (2,33,7) ° 10 Па были изготовлены резистивные пленки с удельным поверхностным сопротивлением 5-50 Ом/o .

ТКС пленок в интервале от -60 до +125 С измеряли в камере тепла и холода КТХ-12; в интервале 20-315 Св камере тепла КТ»315.

Результаты испытаний матриц тонкопленочных резисторов из предложенного материала представлены в таблице.

Как следует из результатов испытаний, резисторы, изготовленные иэ предпоженного материала, обладают жаростойкостью при эксплуатации на воздухе до с + 300 С, отклонение от номинала величины сопротинления при изготовлении резисторов составляет не более 18,5%.

1014045

Продолжение таблицы

Численные значения параметров материала известного

Рабочий параметр предложенного

Жаростойкость, C!

155

+230

+300

+270

2) 3) Составитель Н. Кондратов

Редактор В. Данко Техред Т.Маточка Корректор й. Тяско

Заказ 3029/62 Тираж 701 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 прн содержанки ле ирующих добавок, мас.Ъ

1) 0,5 .5

0,01

0i3

9419

2) 5,25

0,1 б,б

78,05. 3) 11

15 . 0,2

13

60,8

Изменение сопротивления в процессе испытаний с

Р„ 0,5 Вт/см в течение

1000 ч при максимальной температуре, Ъ

1) 10,3 (230 С)

7,5 (300 C)

9,7 (270 С)