Способ активирования поверхности диэлектриков

Способ активирования поверхности диэлектриков

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СПОСОБ АКТИВИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ перед хтъшческим осаждением меташшческвх, преимущественно медных пок{ |1ТВЙ, вкпкн чакшшй обработку в расггаоре сопн медВ| промывку в воде 8 о(аботку в щелочном растворе raapBsaaiA, о т я н ч а ч ш и Й с я тем, что, с целью повышения скороств формирования в сппошшютй катшипически активнсго опоя, обработку в растворе гидразвнй проводят до прекращения газовыдепения на поверлностн, после че-. го повфхноснь допопнительно обрабатывают в щелочном растворе формальдегида.

COOS C08ET0HHX

Ш llHOIIII

РЕСПУБЛИН

3аю С 23 С 3/02 ф (f

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОЬРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, ., и и АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС .ГВУ

33 (21) 3292989/22 02

{22) 19 03.81 ,, (46) 30.04.83. Бка. Ж 16

° ° 72} В.А Руденок и О.М.Коподкина 53) 621.793.3(088,8) (56) 1. Патент США % 4084023 ки. 427-98, опубпик. 1978., . 2. Патент .Франции % 2307050 кл. С 23 3/02, опубпик. 1979.

;(54) (57) СПОСОБ AKFHBHPOBAHHR ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ перед,.SU„„. 3014977 А химическим осаждением метаппических, преимущественно медных покрытий, вкжочаюп ий обработку в растворе сопи меди, ;промывку в воде и обработку в щеночком растваре гидразина, о т и и ч а з а и L с а тем, что, с пенью повышения скорос ти формирования и сигиппвстИ катапити чески активного опоя, обработку в растворе гидраеина проводят до прекращения

- газовыдепения на поверхности, косие че-. го поверхность допопнитепьно обрабаты вают в щелочном-растворе формапьдегида.

10 14977.

Изобретение относится к химическому осаждению металлических покрытий на диэлектрики, в частности, к способам активирования поверхности перед нанесением медных покрытий.

Известен способ активирования поверхности диэлектриков перед химическим осаждением метаплических покрытий, включающий обработку в растворе комплексной соли небпагородного металла, например, меди, и последующую обработку в растворе формальдегида (1.).

Однако при осуществлении известного способа необходима длительная (до 200 мин) обработка в растворе формальдегида. 5 что ухудшает сцепление образующегося каталитически активного слоя меди и его сплошн ость, Наиболее близким к изобретению по техническому существу и достигаемому результату является способ активирования поверхности перед химическим осаждением металлических покрытий, включающий обработку в растворе сопи меди, с промывку в воде и обработку в щелочном растворе гидразина (2 1.

Известный способ позволяет получать на поверхности каталитически активные

1 слои меди, более прочно сцепленные с основой. Однако длительность процесса 30 обработки в растворе гидразина также приводит к нарушешпо оплошности споя меди.

Цель изобретения - повышение скорос-„ ти формирования и снлошности каталити35 чески активного слоя на поверхности дизлектриков.

Указанная цель достигается тем, что в способе активирования поверхности диэлектриков перед химическим осаждением металлических, преимущественно медных покрытий, включающем обработку в растворе соли меди, промывку в воде и обработку .в щелочном растворе гидразина, обработку в растворе гидразина прово45 дят до прекращения газовыделения на поверхности, после чего поверхность дополнительно обрабатывают в щелочном растворе формапьдегида.

При осуществлении способа предварительно обезжиренную поверхность диэле"трика обрабатывают аммиачно-глицериновым раствором хлористой меди, содержащем:

Хлористая медь, r 50

Глицерин, мл 100

Лммиак (26 о-ный водный раствор), л до 1 в течение 30 с, после чего подсушивают. на воздухе до образования пленки на по- верхности (20 мин) . Затем поверхность промывают в горячей воде (70-80 С) в течение 30 с для осуществления процесса гидрсюгиза, после чего обрабатывают в щелочном растворе гидразина (20 r/n и pV=8,0) при 20 С. При этом в течение не более 1 мкм наблюдается бурное газовыделение и на поверхности формируется.пленка закиси меди темно-желтого цвета. . После прекращения газовыделения пс верхность вновь промывают водой и дополнительно обрабатывают в 20%-ном шепочном растворе формальдегида (рН=12,5) при 20 С . в рез тьтате чего на поверхности образуется пленка металлической меди темного цвета. Время обработки до 20 мин.

Лктивированную таким образом поверхность погружают в раствор химического меднения, содержащий, г/л:

Медь сернокислая 20

Никель хлористы и 6

Гидроокись натрия 20

Сегнетова. соль 80

Формалин (33%-ный раствор), мк/л 20

Осаждение осуществляют при 20 С и механическом перемешивании раствора.

Данные условий обработки по предпагаемому и известному способам приведены в таблице.

1014977

20 20

8 8

20 20 20

8 8 ° 8

20 20 20

1) Гидразин, г/л рн

20 20

Температура,о С

Время обработки, 0 5 3.,0 1,5 20 200

Сплошность покрытия, о ю

98 100 100 10 80

2) Формальдегид, % рН

20 20 20

12,5 12,5 125

20 20 20

Температура,о С

Время обработки, мнн

10 15

Сплошность медного покрытия,%

90 100 100

Составитель E. Кубасова

Техреду В.далекорей Корректор А.Дзнтко

Редактор П.Макаревич Заказ 3142/25 Тираж 956 Подписное

ВНИИ ПИ Государственного комитета СССР.по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ПДП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,4

Как видно из данных таблицы предпа- 30 талитически активного слоя. При гаемый способ позволяет значительно этом сплошность покрытия достига, сократить скорость формирования ка- ет 1009 .