Способ определения толщины покрытия на подложке

Способ определения толщины покрытия на подложке

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СООЗ СОНЕТСНИХ

ЭИ Ю

РЕСПУБЛИК

ЗСЮ 01 N 3/56

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР (21) 3371518/25-28 (22) 28.12.81 (46) 07.06.83. Бюл. Р 21 (72) И.И.Зюльков и М.Н.Ронжкн (71) Всесоюзный научно-исследовательский инструментальный институт (53) 620. 178 (088. 8 ) (56 ) 1. Т*е friction equal Lubrication of Ьойдз P.W. Воодеп, D. ЪЪог — Oxforol

1950, р. 9 (прототип ).

„„SU„„1021995 (54) (57 l СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЗПЯИНЫ

ПОКРЫТИЯ HA ПОДЛОЖКЕ, заключающийся в том, что осуществляют косой срез покрытия, определяют границу покрытия с подложкой и по длине среза в пределах покрытия определяют толщину последнего, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью повышения точности,.на поверхность косого среза наносят индикаторную жидкость, а границу покрытия с подложкой определяют по изменению цвета подложки.

1021995

Составитель М.Добычин

Редактор H.Ëàçàðåíêo Техред M.Êîøòóðà Корректор,д.Ильин

Заказ 4027/33 Тираж 873 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений.и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðîä, ул.Проектная,4

Изобретение относится к технике контроля свойств материалов и касается способа определения толщины твердых покрытий, нанесенных на подложку.

Известен способ определения тол- 5 щины покрытия на подложке, заключающийся в том, что осуществляют косой срез покрытия, определяют границу покрытия с подложкой и по длине среза

s пределах покрытия определяют тол- 3Q щину последнего (1), Однако известный способ характеризуется невысокой точностью, поскольку границу покрытия с подложкой определяют визуально. Такой способ . оценки зависит от квалификации оператора и, в силу своей субьективности, не позволяет получить воспроизводимые от опыта к опыту результаты.

Цель изобретения - повышение точности.

Эта цель достигается тем, что согласно способу определения толщины покрытия на подложке, заключающемуся в том, что осуществляют косой срез покрытия, определяют границу покрытия с подложкой и по длине среза в. пределах покрытия определяют толщину последнего, на поверхность косого . среза наносят индикаторную жидкость, а границу покрытия с подложкой опре- 30 деляют по изменению цвета подложки.

На фиг.1 изображена схема осуществления определения косого среза покрытия;на фиг. 2 — срез после обработки индикаторной жидкостью состава: 35

К, Fg (СМ,Ц 10 r/ë, МН СЕ 30 г/л, ИаСЮ 60 г/л.

Рассмотрим реализацию способа для опоеделения толщины покрытия из нитрида титана (Т1м), нанесенного на подложку из металлокерамического твердого сплава 13К8.

На образце материала, состоящего из подложки 1 и покрытия 2, с помощью режущего инструмента 3 осуществляют косой срез покрытия„ задавая, например, режущему инструменту 3 перемещения в направлениях t и 0 (на фиг.1 указаны стрелками ). В результате этого на образце материала образуется царапина 4 переменной глубины длиной L, которая на длине 4- Рр проходит по покрытию 2, а на длине

Р— по подложке 1. После этого на поверхность 5 косого среза наносят индикаторную жидкость. Эту операцию можно осуществлять путем смачивания индикаторной жидкостью фильтровальной бумаги и наложения последней на поверхность 5 косого среза. В результате химического взаимодействия индикаторной жидкости с подложкой 1 часть поверхности царапины 4 (на участке 0z, где она проходит по подложке 1 J изменяет свою окраску, благодаря чему устанавливают границу К между покрытием 2 и подложкой 1.

Зная функциональную связь между перемещениями в направлениях 1 и 0 (она задается приводом режущего инструмента 3 )и длину t„ — - 9, определя-. ют толщину ь покрытия 2.

Предлагаемый способ позволяет проводить оперативный контроль толщин покрытий, отличается высокой производительностью, простотой и не требует больших затрат материальных средств для его осуществления.