Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

РУРБб МОЖКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и размещенные в нем статорные и роторные диски, о т л и ч а-ю щи и с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик , на обращенных друг к , другу торцах роторного и статорного дисков, расположенных со стороны на ,гнетания насоса, выполнены цилиндрические канавки и расположенные в них с зазорами ответные выступы с. тангенциальными каналами. .1 (О ю 00

.„„Я(,)„„1023141

ССЮ3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ЗЮ F 04 В 19/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ -ИЗОБРЕТЕНИЙ И (ЛНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3393563/25-06 (22) 24.11 ° 81 (46) .15,06.83. Вюл. 9 22 .(72) В.Б. Шолохов, К.E. Демихов и A.A. Евдокимов (53) 621.527.8(088 .8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Ф 572584, кл. Р 04 D 19/04, 1966. (54)(57) тУиююлккуля1ный влкуумНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и раэмещенные в нем статорные и роторные диски, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, на обращенных друг к другу торцах роторного и статорного дисков, расположенных со стороны на,гнетания насоса, выполнены цилиндрические канавки и расположенные в них с зазорами ответные выступы с тангенциальными каналами, 1023141

ВНИИПИ Эаказ 4183/24 Тираж б65 Подписное

Филиал ППП "Патент", г.ужгород,ул.Проектная,4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству турбомолекулярных вакуумных насосов. с

Известен турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и размещенные в нем статорные и роторные диски $I) .

Недостатками известного насоса являются невысокие откачные характеристики вследствие значительного обратного потока на осевых ступенях насоса, размещенный в зоне нагнетания.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик. указанная цель достигается тем, что в турбомолекулярном вакуумном насосе, содержащем корпус и размещенные в нем статорные и роторные диски, на обращенных друг к другу торцах роторного и статорного дисков, расположенных со стороны нагнетания насоса, выполнены цилиндрические канавки и расположенные в них с зазорами ответные выступы с тангеициальными каналами.

На фиг. 1 представлен предлагаемый насос, продольный разрезу на фиг.2 разрез A-A на фиг. 1.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и размещенные в нем статорные и роторные диски 2 и 3, причем на обращенных друг к другу торцах роторного и стопорного дисков 4 и 5, расположенных со сто-. роны нагнетания насоса, выполнены цилиндрические канавкй б и 7 и расположенные в них с зазорами ответные выступы 8 и 9 с тангенциальными каналами 10 и 11.

Насос работает следующим образом.

Поток молекул откачиваемого газа при. вращении роторных дисков 3 переносится по каналам, выполненным в дисках 2 и 3, в осевом направлении.

Достигая дисков,4 и 5 поток изменяет направление на радиальное и через тангенциальные каналы 10 и 11 в выступах 8 и Я переносится в зону нагнетания насоса.

По существу выступы и канавки образуют радиальные ступени насоса, которые, при сохранении габаритов, обеспечивают улучшение откачных характеристик насоса.