Способ измерения перемещений

Способ измерения перемещений

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

.СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЩЕНИИ , заключающийся в том, что формиру т коллимированный пучок света, направляют его на растровое сопряже- :ние под углом к плоскости и регистрйруют нощность пучка, прошедшего со .пряжение, по которой судят об относительной пространственной фазе образующих сопряжение растров и определяют контролируемый параметр, о т .личающийс я тем, что, с целью измерения также и изменений зазора между растрами, формируют дополнительный коллимированный пучок света, направляют его на тот же участок растрового сопряжения, что и основной, под углом к плоскости сопряжения, отличным от угла, под которым напрайляют основной пучок, оси пучков располагают в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого по ходу пучков растра растрового сопряжения, регистрируют мощность дополнительного i пучка, прошедшего сопряжение, по которой судят от относительной проО ) странственной фазе образующих сопряжение растров, и по значению изменений разности фаз судят об изменении зазора.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН 3(59 901 В 11 00 ° 801В 11/14 с

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ .

t и Г

К АВТОР НОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3379120/25-28 (22) 11 ° 01 ° 82 (46) 23.06.83. Бюл. 9 23 (72) Л.И. Герберене, A. T.Óøèíñêàñ и Б.A. Кравченко (71) Вильнюсский филиал Экспериментального научно-исследовательского

° института металлорежущих станков (53) 531.71 ° 531.14: 531.717 ° 1 (088 ° 8). (56) 1. Фотоэлектрические преобразователи информации. Под ред.

Л.М.Преснухина. М., Машиностроение, 1974, с. 1 50-151 (прототип).

: (54) (57), СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, заключающийся в том, что форми руют коллимированный пучок света, :направляют его на растровое сопряже:ние под углом к плоскости и регистри-. руют мощность пучка, прошедшего со,пряжение, по которой судят об относительной пространственной фазе об„„SU(iD A

1 1 ! разующих сопряжение растров и определяют контролируемый параметр, о т .личающи йс ятем, что, с целью измерения также и изменений зазора между растрами, формируют дополнительный коллимированный пучок света, направляют его на тот же участок растрового сопряжения, что и основной, под углом к плоскости сопряжения, отличным от угла, под которым направляют основной пучок, оси пучков располагают в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого по ходу пучков растра растрового сопряжения, регистрируют мощность дополнительного пучка, прошедшего сопряжение, по ко-,р

Я

МФ торой судят от относительной пространственной фазе образующих сопряжение растров, и по значению изменений разности фаз судят об изме- С ненни зазора.

1024701

ТьЯ

2K (tgg<+g ) где М- изменение зазора между растрами;

hf- изменение разности фаз, рад.

На чертеже изображена схема, поясняющая способ измерения перемещений.

Она содержит осветители 1 и 2, растры 3 и 4, фотоприемники 5 и б, блок 7 обработки сигналов.

Способ осуществляется следуюшим. образом. формируют с помощью осветителя

1 коллимированный пучок света, на30 правляют его на растровое сопряжение, образованное растрами 3 и 4, под углом (90 — ofq ) к плоскости сопряжения и регистрируют фотоприемником б мощность пучка, прошедшего

35 сопряжение, по которой судят об от носительной пространственной фазе (образующих сопряжение) растров 3 и 4 и определяют контролируемый па- . раметр в блоке 7 обработки сигналов, формируют с помощью осветителя 2 до0 полнительный коллимнрованный пучок: света, нарпавляют его на тот же участок растрового сопряжения, что и основной, под углом к плоскос-.

4 тн сопяжения, отличным от угла, под которым направляют основной пучок, оси пучков располагают s плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого по ходу пучков растра 3 растрового сопряжения, ре- . гистрируют фотоприемником 5 мощность дополнительного пучка, прошедшего сопряжение, по которой судят от относительной пространственной фазе образующих сопряжение растров 3 и 4, 55 и по значению изменений разности фаз судят об изменении зазора.

Таким образом, формирование дополнительного коллимированного пучка света, направляемого под углом к растровому сопряжению, и регистрация мощности пучка, прошедшего сопряжение, позволяет измерять также и изменение зазора между растрами.

Тираж 602 ПодписноеУжгород,ул.Проектная,4

Изобретение относится к контрол но-измерительной технике и может быть использовано s частности, для измерения то1х евого биения растроВых мер при сборке и юстнровке измерительных преобраз ователей линей ных и круговых перемещений.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является способ изме рения перемещений, заключающийся в, том, что формируют коллимированный; пучок света, направляют его на раст,.- ровое сопряжение под углом к плоскости сопряжения и регистрируют мощность пучка, прошедшего сопряжение, по ко.торой судят об относительной пространственной фазе образующих сопряжение растров и определяют контролируемый параметр. 1 j.

Недостатком известного устройства является отсутствие информации об изменениях зазора между растрами, что вызывает трудности при сборке и юстировке измерительных преобразователей перемещений.

Цель изобретения — измерение также и изменений зазора между растрами

Эта цель достигается тем, что в способе измерения перемещений, заключающемся в том, что формируют коллимированный пучок света, направля-: ют его на растровое сопряжение под углом к плоскости сопряжения и регистрируют мощность пучка,прошедшего сопряжение, по которой судят об относительной пространственной фазе образующих сопряжение растров и определяют контролируемый параметр, формируют дополнительный коллимированный пучок света, направляют его на тот же участок растрового сопряжения, что и основной, под углом к плоскости сопряжени я, отличным от угла, под которым направляют основной пучок, оси пучков располагают в плоскости, нормальной к плоскости сопряжения и штрихам первого по ходу пучков растра растрового сопряжения, регистрируют мощность дополнительного пучка, прошедшего сопряжение, по которой судят от относительной пространственной фазе образующих сопряжение растров, и по значению изменений разности фаз судят об из менении зазора.

Сущность способа заключается в следующем.

Направляют на один и тот же участок растрового сопряжения два световых пучка, один из которых составляет угол о „ с нормалью ы плоскости сопряжения, а другой — угол д. . Прошедшее растровое сопряжение излучение от каждого из пучков ре. гистрируют, отдельным фотоприемником.

ВНИИПИ Заказ 4375 34

Филиал ППП "Патент", г.

Если зазор"+ между. растрами является неизменным, то при перемещении подвижного растра в плоскости сопряжения на выходах фотоприемников формируются периодические сигналы с фиксированной разностью фаз. При изменении зазора между растрами, имеющими шаг, равный Т, изменятся начальные фазы выходных сигналов топриемников и, соответственно, раэ

30 ность фаз между этими сигналами.

Изменение зазора можно определить из выражения