Способ термообработки многослойных структур соединений a iiibv

Способ термообработки многослойных структур соединений a iiibv

Реферат

Способ термообработки многослойных структур соединений A^III B^V, включающий отжиг в градиенте температуры, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности характеристик приборов за счет выведения из рабочей области структур металлических микровключений, одновременно с отжигом производят облучение импульсами лазерного излучения с энергией квантов, на 0,1-0,3 эВ меньшей энергий края фундаментного поглощения полупроводника, со скважностью импульсов 10²-10³ и удельной мощностью 0,5-10 Дж/см²с, причем лазерное излучение направляют излучение не менее нагретую поверхность структуры.