Способ изготовления полупроводниковых приборов

Способ изготовления полупроводниковых приборов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

Р*ИМю

РЕСПУБЛИН з 5р В 23 К 20/10

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ госудАРстщнный номитЕт сссР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНР1ЫТИЙ (21) 3418796/25-27 . (22) 31 03.82 ..(46) 30.07.83. Бюл. И 28 (72) В.Г.Сизов, А.В.Подувальцев и З.И,Славинский (53) 621 ° 791. 16 (088. 8)

{56) 1. Авторское свидетельство СССР

И 564666, кл. Н 01 L 23/52, 1975 °

2. Авторское. свидетельство СССР

M 824577) е1. В 23 K 20/10, 1979 (прототип). (5Ц (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ путем приварки проволочных перемычек к контактныи площадкам, при. котором проволоку

„.Я0„„0316 4 А. в зоне сварки прижимают к контактной площадке, выполняют ультразвуковую сварку и отделяют проволоку от полу" ченной приваренной проволочной перемычки после выполнения..последней сварочной точки, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения качества сварных соединений, перед выполнением последней сварочной точки к проволоке прикладывают растягивающее усилие, не превышающее проч". ность проволоки на границе сварочной точки после ее образования и превышающее прочность проволоки на границе сварочной точки при ее акустическом разупрочнении в процессе ультра- а звуковой сварки, 1031694 2

8се это снижает качество сварных соединений и как следствие снижает выход годных.

Приложение значительного усилия к проволоке перед обрывом вызывает и изменяет ее физико-механические свойства, что влияет на качество последующего сварного соединения, Кроме того, режущая кромка сварочного инструмента, предназначенная для подрезания проволоки после формирования последнего сварного соединения перед ее обрывом, вынужденно подрезает ее и при формировании первого сварного соединения, что ослабляет прочность перемычки.

Цель изобретения - повышение качества сварных соединений.

Для достижения поставленной цели в способе изготовления полупроводниковых приборов путем приварки проволочных перемычек к контактным ° площадкам, при котором проволоку в зоне сварки прижимают к контактной площадке, выполняют ультразвуковую сварку и отделяет проволоку от полученной приваренной проволочной перемычки после выполнения последней сварочной точки, перед выполнением последней сварочной точки к проволоке прикладывают растягивающее ycuwe, не превышающее прочность проволоки на границе сварочной точки после ее образования и превышающее прочность проволоки на границе сварочной точки при ее акустическом разупрочнении в процессе ультразвуковой сварки.

В отличие от известных способов, где обрыв проволоки происходит после окончания сварки под действием значительных усилий (в несколько

Раз превышающих величину прочности проволоки), в данном способе отделение проволоки от сварного сое" динения происходит при его образовании, В момент, когда происходит акустическое разупрочнение свариваемого соединения, под действием определенных незначительных (по сравнению с величиной прочности проволоки) растягивающих усилий, приложенных к проволоке, она отделяется от сварной

На изделии 1, расположенном на предметном столике 2, необходимо сфорИзобретение относится к производ" ству полупроводниковых приборов, а именно к присоединению выводов к контактным площадкам при изготовле" нии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем способов ультра" пластическую деформацию проволоки звуковой сварки.

Известен способ производства полу" проводниковых приборов, заключающийся в том, что при образовании второго 10 сварного соединения на контактную площадку прибора подают приварива" емую проволоку, прикладывают усилие сжатия к свариваемым деталям, и подают ультразвуковые колебания в зоне 15 сварки 1), Однако в процессе образования сварного соединения происходит технологический подрез проволоки режу" щей кромкой сварочного иструмента, рО по окончании сварки к приваренной проволоке прикладывают растягивающее усилие, величина которого в несколько раз превышает величину прочности проволоки. Происходит обрывпроволоки, который при таком способе не всегда осуществляется в месте технологического подреза после образования. второго (последнего) сварного соединения, Часто проволока обрывается на некотором расстоянии. от сварного соединения, что приводит к образованию такого вида брака, как

"хвосты", и как следствие - к снижению выхода годных.

Наиболее близким к предлагаемому является способ изготовления полупроводниковых приборов путем приварки проволочных перемычек к контактным площадкам, при котором проволоку, прижимают в зоне сварки :,к контактной площадке, выполняют ультразвуковую сварку и отделяют проволоку от полученной приваренной проволочной перемычки после выполнения последней сварочной точки (2).

Основной недостаток этого способа заключается в том, что для обрыва проволоки к ней прикладывают усилие, величина которого в несколько раэ превышает величину прочности прово- локи. Это часто приводит к тому, что проволока обрывается не в месте подреза, который получают в процессе сварки, а на некотором расстоянии точки. от него, или образуется вырыв в мес- . На чертеже представлена схема те образования сварной точки. На осуществления способа. этот вид брака приходится до 23 бракованных иэделий, з 1031694 4 мировать проволочную перемычку между Если величина .растягивающего двумя контактными площадками 3 и 4 усилия не превышает величину прочнои отделитв проволоку 5 от соедине- : сти проволоки на границе сварочной ния точки после образования сварного

Формирование первого сварного 5 соединения, но больше прочности просоединения 7 производят обычным волоки на границе сварочной точки в образом и и кото р, р к тором на квнтакт- момент ее акустического разупрочную площадку 1 с помощью устройства нения при образовании сварного соеподачи 8 проволоки 5 и сварного индинения, то в этом случае происхострумента 9 подают сварочную прово- 10 дит качественное отделение провололоку 5 и торцом инструмента 9 прижи- ки от сварочной точки. мают к контактнои площадке 3. За- Пример, Способ опробован тем в зону сварки подают ультразву- на установке микросварки ОЗУН-1ООООИУ ковые колебания, сваривают детали при этом используют микросварочный

15 инструмент без режущей кромки. АлюФормирование второго сварного сое- миниевую проволоку диаметром 0,027 с динения 4 и отделение проволоки со- физико-механическими свойствами по гласно способа происходит следу- Яс 0.021.139ÒÓ, подают на контактную площадку корпуса микросхемы, прижиющим образом.

После того как и с о, как инструментом 9 2Q мают микросварочным инструментом с усилием 0,3Н и одновременно вводят ультразвуковые колебания с частотой

66 кГц. Происходит сварка, затем зажимают ее этими г бками и и икла- формируют перемычку и проволоку по" дывают к ней определенное растяги- 25 дают на контактную площадку кристалвающее силие (нап им щ у (ример, поворотом . ла микросхемы. Проволоку прижимают ротора явнополюсного двигателя, на . инструментом к контактной площадке оси которого закреплены губки},ве- с усилием 0,3Н, губки зажимают про-. личина которого незначительно превы- волоку и механизмом подачи провошает прочность проволоки на границе 3О локи прикладывают к ней растягиваюсварочной точки при ее акустическом щее усилие, равное 0.04Н, что составразупрочнении в момент формирования ляет 20ã. от величины прочности просварного соединения, но не превыша- волоки,.Затем подают в зону сварки ющее величину прочности проволоки на ультразвуковые колебания с частотой границе сварочной тачки после оконча- 66 кгц и по достижению определеннония формирования сварного соедине" го акустического разупрочнения прония. Затем в зону сварки подают уль- волока отделяется от сварного соетразвуковые колебания, под действи- . динения по границе сварочной точки, ем которых происходит акустическое По сравнению с известным способом разупрочнение сварл ваемого соеди- „ предлагаемый способ позволяет повынения, и под деиствием. определенно- сить качество сварных соединений го растягивающего усилия, приложенно- за,счет того, что отделение проволого к проволоке, происходит ее отде- ки происходит точно по границе обление на границе сварочной точки, разования сварного соединения. Выход

Если величина растягивающего уси- 45 годных повысился при этом на 43. лйя превышает величину прочности про- Предлагаемый способ позволил поволоки на границе сварочной точки высить качество последующих сварных после образования сварного соедине- соединений за счет того, что к прония, то. в этом случае происходит не- волоке прикладывают незначительное качественное отделение проволоки от . Растягивающее усилие, которое не вы-. сва ч и рочной точки, т.е, имеют место зывает пластическую деформацию про50 такие дефекты, как вырывы сварной . волоки и не изменяет ее физико-мехаточки, образование,"хвостов".

Заказ 5283/15 Тираж 1106 Подписное филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4